第一種是接近接觸式光刻,這也是結構最簡單的光刻機。
\t它的標題在於,曆程紛亂,操作量大,而且可能對芯片造成汙染。
\t第二種是直寫光刻,需要小三激光束一點點在芯片上打印出來。
\t但是它有個致命的缺點,那就是太慢了,不適於工業化製造。
\t第三種光刻體式款式是光學投影式光刻。
\t到目前為止,它是精度與聽從最好的光刻手段。
\t係統給王小三的也恰是第三種光學投影式光刻。
\t而現在,果家相關方麵的光學設計難題還沒有解決。
\t雖然係統已經給出懂得決計劃,但是有關的數據還需要果內的可學及自行研究。
\t王小三看著計劃書。
\t他向可研院的人要來了。
\t在納米光刻技術上,他要可研院的人突破對於衍射極限的鑽研,在精確成像方麵也要進行挑戰。
\t除此之外,係統冷卻,振動以致精度的精度,還有高分辨率的光刻膠等等都是需要解決的問題。
\t可研部的人為了配合王小三,在各處抽調著人手,好容易才湊齊一支隊伍送進建設好的實驗室。
\t可研人員進入實驗室,來不及做別的的事情,就立刻投入了各項的研究之中。
\t王小三總覽全局,監督把控著實驗的整體進程。
\t就在實驗剛剛開始,研究已經遇到了難題。
\t麵對EUV的光源的采集數據,可研部的人算了三天三夜都沒有算出一個一致的數據。
\t甚至於這個數據在個位數的時候,就已經初階產生了分歧。
\t可研人員左算右算要末數據不一致,要末同等是謬誤的數據。
\t他們算的頭都快要禿了。
\t許多人已經三天三夜沒有好好睡過一覺了。
\t所有人臉上都掛著大大的眼袋和濃烈的黑眼圈。
\t有的人因為算不出來,都把指甲啃禿了。
\t鑽研光刻機技術刻不容緩。
\t時間一秒也不能浪費。
\t相關的鑽研人員立刻派了代表去找王小三。
\t代表叫趙誠竹,是一個十八歲的年輕人。
\t別看他很小,但是在光學領域,他已經是大師級此外人物。
\t很多人都說他是一個稟賦。
\t也恰是因為他在光學領域上有很大的造詣,以是這一次他才能進入研究光刻機技術的隊伍當中。
\t趙誠竹此時也犯了難。
\t他也沒有辦法找出數據對不上的緣故起因。
\t他緊皺著眉頭向王小三說明了情況。
\t王小三了解完情況之後。
\t他立時起身往實驗室旁邊的會議廳走去。
\t……
\t會議廳的,四塊大黑板分別釘在四個牆麵上。
\t黑板上麵密密麻麻寫著公式。
\t十幾小我私人圍著黑板在不停地計較。
\t“分歧謬誤不對,怎還是對不上。”
\t“都算三天了還沒有算出來,難不成接收的公式自身有問題?”
\t“太難了,製造光刻機的難度,一點不比製造原子彈的難度小啊!”
\t就在眾人有些頹喪的時候。
\t王小三推門進來了。
\t他一進門就朝黑板上的數字看去。
\t聽到新聞的人們安靜下來。
\t他們默不作聲的離開黑板麵前,給王小三留出了充足的視野。
\t第一麵黑板檢查完了,沒有問題。
\t王小三將眼力落在第二麵黑板上,也沒有標題。
\t直到第三麵黑板,王小三發現了標題。
\t“這。”
\t他拿起黑板擦將一條公式擦去。
\t隨後他拿起粉筆,在牆上寫出此外一條公式。
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